中华人民共和国国家准
 
高  纯  氩
GB／T 10624—1995
代替GB 10624—89
GB 10625  89
国家技术监督局1995-12-20批准    1996-08-01实施
 
1  主题内容与适用范围
    本标准规定了高纯氩的技术要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。
    本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的气瓶包装的高纯气态氩。
    高纯氩主要用作半导体工业，稀有金属、有色金属的冶炼，焊接中的保护气，特种灯泡的充填气，气相色谱分析用载气及配制标准气的底气等。
    分子式：Ar
    相对分子质量：39.948(按1991年国际相对原子质量)
2  引用标准
  GB 190 危险货物包装标志
  GB 5099 钢质无缝气瓶
  GB／T 5832.1  气体中微量水分的测定  电解法
  GB／T 5832.2  气体中微量水分的测定  露点法
  GB／T 6285    气体中微量氧的测定  电化学法
  GB 7144       气瓶颜色标记
  GB／T 8981   气体中微量氢的测定  气相色谱法    
  GB／T 8985    气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定  气相色谱法
3         技术要求 
高纯氩的质量应符合下表的要求
项  目                     优级品      一等品      合格品
纯度，10-2              ≥99.9996       9.9993     99.999
氮含量，lO-6            ≤ 2             4         5
氧含量，10-6            ≤ 1             1         2
氢含量，10-6             ≤ 0.5          1         1
总碳含量(以甲烷计)，10-6 ≤ 0.5          1         2
水分，10-6               ≤1                2.6      4
 注：①               表中纯度和含量为体积分数。
   ② 表中氩纯度未扣除水分含量。
4  检验方法
4.1纯度
    氩的纯度按下式计算：
                                             
式中： --氩的纯度(体积分数)，10-2；
      --氮的含量(体积分数)．10-6；
      --氧的含量(体积分数)，10-6；
      --氢的含量(体积分数)，10-6；
4--总碳含量(体积分数)，10-6；
4.2  氮含量的测定
4.2.1  方法和原理
    采用气相色谱法、电子迁移检测。
    单原子的氩载气将样品气带入色谱柱内进行分离，分离后从柱内流出的双原子(如N2)或多原子
(如CH4)分子组分进入设置有氚源的电子迁移检测器时，检测器中的自由电子与这些组分的分子进行
非弹性碰撞，电子就失去了能量，电子沿阳极方向上的迁移速度就增大，捕集的电子就多，电流就增加。
在选定适宜的温度、压力、电场强度下，电流的增加与组分含量(在一定范围内)成正比，由此测定氮组分
的含量。
4.2.2  分析仪器
    采用电子迁移气相色谱仪，要求对氮的检测限应小于0.5×10-6含氮量在10×10-6以下呈线性响
应。以氩气为载气，净化后含氮量应小于0.2×10-6电子迁移气相色谱仪示意流程如图l所示。
4.2.3  分析前的准备工作
4.2.3.1  色谱柱的准备
    将色谱分析用的250～600μm13X分子筛装入内径4 mm，长120 cm不锈钢管内，于300oC通氩气活化3 h。
4.2.3.2  纯化器的准备
    将约150 g 250～400 pm的锆铝-16合金装入不锈钢纯化器中，于750oC活化2.5 h。
    锆铝-16合金可以多次活化，反复使用，直至失效。
    纯化器活化周期：仪器常歼，一季度活化一次。仪器不常开，半年至一年活化一次。
4.2.3.3  仪器试漏
 包谱系统中的阀门和所有接头处应无泄漏，否则由于空气中的氮组分渗入而使测量结果不准．所以必须对系统进行严格的试漏。其方法如下：    
    先将整个色谱系统用氩气升压至0.15MPa，保压4 h，如压力表示值不变，则阀门和接头气密性良好；若压力表示值随保压时间延长而逐渐减少，则阀门和接头有微小渗漏。需拧紧阀门固定螺丝及各气路接头．重新保压试验至示值不变为止。
4.2.3.4  取样设备
    a．  取样阀：用死体积小的针形阀。
    b．  取样管：一般采用长1.5 m左右，内径小于2 mm的不锈钢管或铜管，洗净吹干。
4.2.4  测定
4.2.4.1  仪器启动
    按仪器说明书启动仪器，按分析要求选定操作条件。
4.2.4.2  样品分析
    待仪器基线稳定后，分别将待测样品气和标准气[配制以氩气为底气的气瓶装氮标准气，含氮量(3×10-6～5×10-6)]用针形阀及金属管道连接到仪器的“样品”入口处，采用三次升、降压法撮换吹洗瓶阀、针形阀及其管道，用针形阀按说明书调节流量，然后切换六通阀进样，测出样品气和标准气氮峰峰高．重复进行二次．单个值与平均值的相对偏差不得大于10%，取其平均值进行计算。
                                                                         
                                                                         
式中： 一一样品气中氮组分含量(体积分数)，10-6；
      ——标准气中氮组分含量(体积分数)．10-6；
       h1——样品气中氮峰峰高．mm；
       h2——标准气中氮峰峰高，mm。
4.2.6  注意事项
4.2.6.1  由于本方法要求仪器气密性高，故系统中所有卡套接头都要拧紧。所有连接管道口应无毛刺，与卡套接触部位应光滑无划痕，以防漏气；若色谱系统检修后，必须经过严格试漏。
4.2.6.2  检测器温度不得超过100oC，不能对检测器抽真空，以防止氚从底层上脱附，影响检测器性能及污染环境。
4.2.6.3  载气放空一定要排出室外。
4.2.6.4  必须保证驱动气压力，六通阀方可正常工作。停机时应放掉驱动气压力，以免损伤膜片。
4.2.7  允许采用符合本标准要求的其它分析仪器测定。
4.3  氧含量的测定
  按GB／T 6285执行。
4.4  氢含量的测定
    按(GB／T8981执行。
4.5  总碳含量的测定。
    按GB／T 8985执行。
4.6  水分的测定
    按GB／T 5832.1执行或按GB／T 5832.2执行。
5  检验规则
5.1  高纯氩由生产厂的质量检验部门检验，并保证其产品质量符合本标准的要求。
5.2  高纯氩质量按逐瓶逐项指标检验。
5.3  当检验结果有一项指标不符合本标准要求时，则该瓶产品不合格。
5.4  用户亦按照本标准规定验收。
5.5  用户和生产厂对产品质量发生意见分歧时，由双方共同检验或提请仲裁。
6  标志、包装、运输、贮存
6.1  高纯氲气瓶的标志、包装、运输、贮存应符合国家《气瓶安全监察规程》和《危险货物运输规则》的规定。
6.2  高纯氩气瓶包装标志应符合GB 190规定，颜色标记应符合GB 7144的规定。
6.3  高纯氩气瓶最高允许压力应符合GB 5099的规定。
6.4  压力检验：在20oC时，气瓶巾高纯氩的压力为15.0±0.5 MPa，测量用的压力表精度不低于2.5级。
6.5  瓶装高纯氩的体积按GB／T 4842.2附录A(补充件)计算。
6.6  高纯氩气瓶瓶阀与瓶颈螺纹联接处，瓶阀的出口及瓶阀阀杆间隙处，不得泄漏。
6.7  用户将空瓶返回生产厂时，要求瓶内余压不低于0.2 MPa。
6.8  充装有高纯氩的气瓶，必须戴好安全帽。
6.9  高纯氩出厂时，应附有质量合格证，其内容包括：
  a．  生产厂名称；
  b．  产品名称和级别；
  c．  生产日期；
  d．  高纯氩气体的体积；
e．       本标准号。