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什么是特种气体?特种气体有哪些?
来源: | 作者:西联特气 | 发布时间: 2021-11-24 | 658 次浏览 | 分享到:

       气体产品大至可以分为两大类,即一般工业气体和特种气体 :

        一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、氩气、二氧化碳等,经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大,但对气体的纯度要求不高。

       特种气体在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种气体因种类很多,又可以分为电子特种气体、高纯气体、标准气体、混合气体等


一、电子特种气体:广泛用于半导体、显示面板、光伏新能源、光纤光缆等电子产业的加工制造 过程,主要包括清洗、蚀刻、沉积/成膜、光刻等工序所用气体,具体情况如下: 

1.清洗、蚀刻气:高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化 碳、高纯三氟甲烷、高纯一氟甲烷、高纯二氟甲烷、高纯乙烯等; 

2.光刻气:氪氖混合气、氟氖混合气等; 

3.外延气体、沉积/成膜气体(亦可称为前驱体):高纯氨、硅烷、乙硅烷等; 

4.掺杂气体:乙硼烷、三氯化硼、磷烷、锗烷等; 5其他:氮气(6N)、氢气(6N)、氩气(5.5N)等;

 二、用于医疗、测量、食品等众多新型领域的高纯气体或标准气体: 

1.医疗气体:医用氧、血气测定混合气、环氧乙烷、消毒气等,用于诊断、手 术、医学研究等; 

2.标准气体:由高纯碳氢气体配制,在物理、化学、生物工程等领域中用于校 准测量仪器和测量过程,评价准确度和检测能力,确定材料的特性量值; 

3.激光气体:氦氖激光气、密封束激光气等,用于国防建设、激光加工等; 

4.食品气体:二氧化碳、乙炔、氩等,用于饮料气体、蔬菜/水果保鲜等

5.电光源气体:氩、氪、氖、氙及其混合气,用于电器、灯具生产。

三、混合气体

       由两种以上气体混台配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。

1.气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氩的混合气(氢氩混合气)以及含甲烷5%或10%,其余是氩的混合气(氩甲烷混合气),被用作气相色谱仪的载气;

2.含氢40%,其余是氮的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。

3.含氧20%~60%,其余是氩的混合气被用来发生化学荧光分析仪用的臭氧。

4.在测定放射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲烷5%-10%,均以氦为底气。5.各种混合气也常被用作照明灯具的充填气和数字显示管等的充填气,这类气体太多是用下列两种以上气体混合而成的:氙、氖、氪。卤光源生产则用溴甲烷、氯甲烷、溴化氢、碘甲烷、氯仿等气体与氩的混合气。

6.深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合气。

7.激光用混合气CO2:4%~16%,N2:10%~25%,其余是氦。

8.金属热处理保护气可用含氢0.5%~10%,其余为氩的混合气或二氧化碳10%~40%、20%~60%,其余为氮氦的混合气。

9.光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧化硫和硫化氢等都要保持低浓度。




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